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已选条件: 资源类型: 期刊论文 × 数据来源: CSCD × 数据来源: SCOPUS × 出版年: 2016 × 出版物中文: 稀有金属材料与工程 × 机构: 信息科学与工程... ×
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1. 溅射压强对a-IGZO薄膜的表面粗糙度、氧空位及电学特性的影响 EI CSCD SCOPUS SCIE

作者:李玲[1,2];薛涛[2];宋忠孝[3];刘纯亮[2];马飞[3]

作者机构:[李玲] 山东大学,电子物理与器件教育部重点实验室, 济南, 山东 250100, 中国.;[薛涛] 西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室, 西安, 陕西 710049, 中国.;[刘纯亮] 西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室, 西安, 陕西 710049, 中国.;[宋忠孝] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室, 西安, 陕西 710049, 中国.;[马飞] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室, 西安, 陕西 710049, 中国

来源:稀有金属材料与工程,RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING,2016,Vol.45,Issue.8,1992-1996

WOS被引数:4

资源类型:期刊论文

WOS:000382410400014

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