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已选条件: 资源类型: 期刊论文 × 数据来源: 万方 × 出版年: 2018 × 出版物中文: 真空 × 机构: 物理学院 ×
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1. 脉冲偏压对磁控溅射制备ITO薄膜性能的影响

作者:王昆仑;辛艳青;

作者机构:[王昆仑;辛艳青]山东大学(威海)空间科学与物理学院

来源:真空,Vacuum,2018,Issue.02,30-33

资源类型:期刊论文

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