标题:细电子束Cockcroft-Walton加速器的研究
作者:尹明,孙晓军
作者机构:[尹明] 山东大学控制学院电子束室, 济南, 山东 250061, 中国.;[孙晓军] 山东大学控制学院电子束室, 济南, 山东 250061, 中国 更多
通讯作者地址:[Yin, M]Shandong Univ, E Beam Lab, Jinan 250061, Peoples R China.
来源:高能物理与核物理
出版年:2004
卷:28
期:3
页码:304-307
关键词:加速器;电子束;高稳定度;噪声抑制;补偿电路
摘要:细电子束由加速器通过电子枪发射电子 ,经电子透镜及偏转射向目标靶 .以SDS 3电子束曝光机为基础 ,完成了电子束Cockcroft Walton加速器噪声抑制的最优状态实验 .系统为加速器调整电路提供一个正比于输入电压的电流 .补偿放大器是由一个主放大器和一个辅助放大器组成 ,辅助放大器消除了主放大器自身的失调漂移 .文中介绍了复合调整式Cockcroft Walton加速器的总体设计方案 ,给出了实现加速器高稳定度的关键技术措施 .从加速器总输出中滤去噪声信号 ,获得稳定的输出电压 ,并使电子束曝光机刻蚀出的图形质量和线条分辨率都得到了提高
收录类别:CSCD;SCIE
WOS核心被引频次:1
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=KNWL200403017&DbName=CJFQ2004
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