标题:双端石英音叉力敏传感器的原理与设计
作者:岳书彬,孙秀英,秦自楷,刘迎春,丁福玲
作者机构:[岳书彬,孙秀英,秦自楷,刘迎春,丁福玲]山东大学实验中心!山东济南250100,山东大学实验中心!山东济南250100,山东大学实验中心!山东济南250100,航天工业总公司第三 更多
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:2000
期:03
页码:282-288
关键词:石英;双端音叉;横向弯曲振动;力敏传感器
摘要:对双端石英音叉横向弯曲振动的原理、力频特性、激励方式、电极的设置、制备方法及实验结果进行了深入的分析与讨论 .用光刻、化学腐蚀、离子溅射和激光调频等技术在一个石英片上可同时设计和生产出几十个甚至上百个超小型的双端石英音叉 .该音叉作为力敏传感器 ,在压电数字线性加速度计和精密数字天平中有着广泛的应用
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX200003006&DbName=CJFQ2000
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