标题:低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性
作者:郝晓涛;马瑾;马洪磊;田茂华;曹宝成;叶丽娜;程传福;滕树云
作者机构:[郝晓涛] 山东大学光电材料与器件研究所, 济南, 山东 250100, 中国.;[马瑾] 山东大学光电材料与器件研究所, 济南, 山东 250100, 中国.;[马洪磊] 山东大学光电材料 更多
来源:中国科学. A辑, 数学
出版年:2001
卷:31
期:9
关键词:有机衬底; 透明导电膜
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
TOP