标题:柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展
作者:郝晓涛;张德恒;杨莺歌;王卿璞;程传福;田茂华;马洪磊
作者机构:[郝晓涛] 山东大学物理与微电子学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[张德恒] 山东大学物理与微电子学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[杨莺歌] 山东大学物理与微电子学 更多
来源:功能材料
出版年:2002
卷:33
期:4
页码:354-356+359
关键词:柔性衬底; 氧化物半导体; 透明导电膜
摘要:回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的IT O膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=GNCL200204002&DbName=CJFQ2002
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