标题:几种金属薄膜密度的测量
作者:王凤翔,谭春雨,刘继田,刘向东,卢菲,孟鸣岐,张兆林
作者机构:[王凤翔,谭春雨,刘继田,刘向东,卢菲,孟鸣岐,张兆林]山东大学物理系
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1998
期:04
页码:30-34
关键词:薄膜密度;卢瑟福背散射;称重法;台阶仪
摘要:用两种方法测量了几种金属薄膜的密度.介绍了应用卢瑟福背散射(RBS)技术结合台阶仪测厚来测量薄膜密度的测量方法,并将所得结果进行了讨论,分析了两种测量方法的优缺点
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX804.004&DbName=CJFQ1998
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