标题:离子注入的(75)As在SiO2薄膜中的射程参数
作者:张兆林;张建华;刘吉田;刘向东;卢居新;于小亭;李金华
作者机构:[张兆林] 山东大学物理系, 济南, 山东 中国,中国.;[张建华] 山东大学物理系, 济南, 山东 中国,中国.;[刘吉田] 山东大学物理系, 济南, 山东 中国,中国.;[刘向东] 更多
来源:山东大学学报. 自然科学版
出版年:1997
卷:32
期:4
关键词:离子注入; RBS分析; 平均投影射程; 射程歧离
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
TOP