标题:考虑卡西米尔力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究
作者:梁斌斌;张龙;王炳雷;周慎杰
作者机构:[梁斌斌] 山东大学土建与水利学院工程力学系, 济南, 山东 250061, 中国.;[张龙] 山东大学土建与水利学院工程力学系, 济南, 山东 250061, 中国.;[王炳雷] 山东大学 更多
通讯作者:Wang, B(bwang@sdu.edu.cn)
通讯作者地址:[Wang, B] School of Civil Engineering, Shandong UniversityChina;
来源:固体力学学报
出版年:2016
卷:37
期:3
页码:247-253
关键词:卡西米尔力; 纳机电系统; 尺寸效应; 最小间距; 拉起长度
摘要:基于应变梯度理论和哈密顿原理,并考虑卡西米尔力的影响,建立了静电激励纳米机电系统(NEMS)的尺寸效应模型,并得到模型的控制方程和边界条件.然后 ,引入广义微分求积法和拟弧长算法,得到模型的数值解.结果表明,当考虑卡西米尔力的影响时,系统两极的吸合电压有所减小.并且,当系统尺寸达到一个临界 值时(即两电极间距小于最小间距,或可变形电极长度超过拉起长度),系统会在没有外加电压的作用下自动发生吸合,这将为NEMS的优化设计和定量分析提供 理论基础.
收录类别:CSCD;SCOPUS
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-84976885048&partnerID=40&md5=eca299b1eaa682a00b2c5c160bc2cf47
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