标题:用离子注入改进真空中玻璃面闪络
作者:张兆林;刘希举;王宜华;刘吉田;陈鲁;
作者机构:[张兆林;刘希举;王宜华;刘吉田;陈鲁] 山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系, 更多
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1989
期:03
页码:41-45
关键词:离子注入;面闪络;吸附;脱附;二次电子发射
摘要:本文报导把 He~+注入玻璃表面增强了玻璃在真空中的面闪络电压,当注入剂量是4×10~(17)离子/厘米~2时,面闪络电压提高了68%.在讨论中分析了改进面闪络的原因。
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX198903006&DbName=CJFQ1989
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