标题:电子束加速器维纳尔的研究(英文)
作者:尹明,周晓雁
作者机构:[尹明,周晓雁]山东大学控制科学与工程学院电子束室,山东大学信息科学与工程学院 济南250061,济南250061
来源:高能物理与核物理
出版年:2005
期:03
页码:301-304
关键词:加速器;电子束;亮度;散射;维纳尔;阴极
摘要:由于电子束理论上可聚成直径小于 1nm的束斑 ,易于控制 ,在超大规模集成电路掩模制造中起的重要作用 ,目前仍无法用其他方法所代替 .以SDS 3电子束设备的电子枪为基础 ,讨论了双曲凹面加速器维纳尔 (外敷碱土金属氧化物盖 )的电子轨迹与能量分布 .通过这一维纳尔电子被送达硅片靶心 (置于光阑前 ) .最后给出了刻蚀硅片的束斑和加速器维纳尔的图 .
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=KNWL200503016&DbName=CJFQ2005
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