标题:离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al透明导电薄膜及其光电性能研究
作者:赵金博;吴莉莉;邹科;于伟燕;李高增
作者机构:[赵金博] 山东大学, 材料液固结构演变与加工教育部重点实验室, 济南, 山东 250061, 中国.;[吴莉莉] 山东大学, 材料液固结构演变与加工教育部重点实验室, 济南, 山 更多
通讯作者:Zhao, JB(zhaojinb@gmail.com)
通讯作者地址:[Zhao, J.-B] Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials, Shandong University, Jinan 250061, China;
来源:人工晶体学报
出版年:2011
卷:40
期:3
页码:594-598
关键词:透明导电薄膜; ZAO薄膜; 离子液体; 溶胶-凝胶; 光电性能
摘要:采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM) 、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能。结果表明,所制备的薄膜为 非(002)取向的多晶膜。随着Al离子掺杂浓度的提高,薄膜的(002)晶面取向增强,晶粒逐渐由片状向球形转变,电阻率先降低后升高。进一步研究发现 ,在气氛NH3下退火可显著降低薄膜的电阻率,Al掺杂浓度为1 mol%时,薄膜电阻率达到4.7*10-2Omega·cm,可见光透过率平均在80%以上。
收录类别:EI;CSCD;SCOPUS
Scopus被引频次:1
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-79960421504&partnerID=40&md5=2f744d0afa48ba4b1beacbf8eba01c06
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