标题:新颖衬底ScAlMgO_4晶体生长的数值模拟与物理性质研究
作者:颜涛;陈昱;王继扬;叶宁;
作者机构:[颜涛;陈昱;王继扬;叶宁]中国科学院福建物质结构研究所;[颜涛;陈昱;王继扬;叶宁]山东大学
会议名称:第十七届全国晶体生长与材料学术会议(CCCG-17)
来源:第十七届全国晶体生长与材料学术会议摘要集
出版年:2015
关键词:ScAlMgO_4衬底;晶体生长;数值模拟;物理性质
摘要:ScAlMgO_4是一种优秀的外延衬底材料,与ZnO、GaN的晶格失配度很小,可以减少薄膜中的位错等缺陷,显著提高薄膜的光学和电学性能,有望提高发光元件的亮度,具有重要的应用前景[1,2]。但是,该晶体熔点高于1900℃,层状结构明显,具有强烈的解理特性,生长过程存在元素挥发,易出现小角晶界镶嵌结构,因此,晶体生长非常困难,目前国内尚无高质量的晶体和衬底[3]。本研究采用提拉法生长晶体,利用CGSim软件对温场体系和生长参数进行优化,研究不同生长条件下晶体的界面形状、热流场分布和热应力状况,用以指导温场系统和生长工艺的改进,解决晶体生长的难点问题,获得高质量晶体。在此基础上,对晶体的透过率、折...
资源类型:会议论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=EUGQ201508002055&DbName=CPFD2015
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