标题:多阶柱状微电极加工模型及试验研究
作者:刘勇[1,2];曾永彬[1];余宏兵[1];朱荻[1]
作者机构:[刘勇;曾永彬;余宏兵;朱荻]南京航空航天大学机电学院,南京210016,中国.;[刘勇]山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心,威海264209,中国 更多
通讯作者:Liu, Y
来源:机械工程学报
出版年:2011
卷:47
期:17
页码:164-171
DOI:10.3901/JME.2011.17.164
关键词:微电极;柱状电极;多阶;电流密度;电极直径;
摘要:为实现微电极的精确控制加工,对微细电极电化学刻蚀制备技术进行深入研究。针对单阶柱状电极的不足,分析多阶柱状微电极的加工原理及制备流程。针对分阶电极加工中的三种刻蚀状况,分析各段的刻蚀变化率,并由此推导出电极尺寸与形状控制函数。通过试验证实刻蚀过程中电流密度的不变性,讨论不同电流密度对电极直径的影响规律。通过试验归纳,建立加工电压、电流密度、浸入深度三者之间对应的函数关系,验证电极直径随时间呈线性变化的正确性。基于上述两组模型函数,建立多阶柱状微电极的加工控制模型,并对某三阶柱状微电极的形状及尺寸进行加工预测,实际加工结果显示,试验值与理论值具有很好的一致性。在加工控制模型的指导下成功制备出一批精度高的多阶柱状微电极。
收录类别:EI;SCOPUS
Scopus被引频次:3
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-80054691368&doi=10.3901%2fJME.2011.17.164&partnerID=40&md5=33926c424b47668285a1c9b553d0bac7
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