标题:钇掺杂氧化锌薄膜的研究进展
作者:王丹丹;王卿璞;王汉斌;江秋怡;武丽伟;李福杰
作者机构:[王丹丹] 山东大学物理学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[王卿璞] 山东大学物理学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[王汉斌] 山东大学物理学院, 济南, 山东 250100, 更多
来源:半导体技术
出版年:2013
卷:38
期:6
页码:407-412+442
关键词:钇掺杂; 氧化锌; 钇掺杂氧化锌薄膜; 紫外辐射; 透明导电
摘要:氧化锌材料具有优异的光电特性,易于掺杂,近年来一直是半导体材料领域关注的热点。稀土元素钇掺杂氧化锌(YZO)薄膜属于新兴的研究方向,相关研究还处 于初级阶段。评述了国内外关于YZO薄膜的最新研究进展。分析比较了该薄膜材料的主要制备方法,包括溶胶-凝胶、共沉淀、磁控溅射、电化学沉积等。着重介 绍了目前YZO 薄膜的主要研究成果,分析结果表明适当浓度的Y 掺杂,能够改善氧化锌的晶格结构,增强紫外辐射强度,提高可见光透过率,降低电阻率。探讨了YZO 透明导电薄膜在短波长发光、平板显示、太阳电池等光电器件领域的应用前景。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=BDTJ201306004&DbName=CJFQ2013
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