标题:(Bi0.88Ce0.12)2Ti2O7薄膜的结构及C-V特性
作者:荆象阳;侯仰博;张晓阳;秦晓燕;张寅
作者机构:[荆象阳] 山东电力研究院, 济南, 山东 250002, 中国.;[侯仰博] 山东省特种设备检验研究院菏泽分院, 菏泽, 山东 274000, 中国.;[张晓阳] 山东大学, 山东大学晶体材 更多
来源:压电与声光
出版年:2011
卷:33
期:3
页码:448-451+455
关键词:薄膜; 介电常数; 退火温度; X线衍射; 能隙
摘要:采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.88Ce0.12)2Ti2O7薄膜,分别借助X线光电子能谱仪、 紫外-可见分光光度计研究了薄膜的化学特性、紫外-可见吸收光谱等结构性能。结果表明,在烧绿石相Bi2Ti2O7薄膜中掺杂Ce3+取代部分Bi3+后 ,薄膜在高温退火下仍能保持原有的相结构。利用HP4192A型阻抗分析仪测试薄膜的电容-电压(C-V)特性,计算出600℃、650℃、700℃、7 50℃退火条件下薄膜的介电常数分别为144、190、214、176,固定电荷密度值分别为3.44*1011cm-2、5.82*1011cm-2、 5.58*1011cm-2和2.49*1010cm-2。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=YDSG201103031&DbName=CJFQ2011
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