标题:溅射法制备a-Si:H/a—SiY:H超晶格的量子尺寸效应
作者:王家俭;宋玉梅;程兴奎;余亦舜;
作者机构:[王家俭;宋玉梅;程兴奎;余亦舜] 山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1989
期:02
页码:112-116
关键词:超晶格;光学隙;量子尺寸效应
摘要:本文报导用射频溅射法制备出一种新型非晶态半导体超晶格薄膜α—Si:H╱α—SiY:H,并验证了其量子尺寸效应。
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX198902019&DbName=CJFQ1989
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