标题:一台400keV离子注入机的光路设计
作者:王克明;刘清前;张乃健;陈鄂生;张永恩;
作者机构:[王克明;刘清前;张乃健;陈鄂生;张永恩] 山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系, 更多
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1989
期:01
页码:49-56
关键词:离子注入机;光路设计;后加速方法
摘要:本文给出了一台400keV离子注入机的物理设计总体方案。根据设计指标,详细计算了该机主要部件的参数。经调试,各项指标达到设计要求。
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX198901007&DbName=CJFQ1989
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