标题:结构调制超硬Ti/TiN纳米多层膜的制备及其尺寸效应
作者:杨波波; 孙珲; 杨田林; 郑小龙; 徐涛; 李方正; 宋淑梅
作者机构:[杨波波]山东大学(威海)空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国;[孙珲]山东大学(威海)空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国;[杨田林]山东大学(威海 更多
通讯作者:Sun, Hui
来源:材料研究学报
出版年:2019
卷:33
期:2
页码:138-144
DOI:10.11901/1005.3093.2018.343
关键词:金属材料; 纳米多层膜; 多弧离子镀; 小调制周期; 超硬效应
摘要:使用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了调制周期为5~40; nm的Ti/TiN纳米多层膜,用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪和划痕仪等手段表征薄膜的微观; 结构和性能,研究了调制周期对Ti/TiN纳米多层膜性能的影响,并讨论了在小调制周期条件下Ti/TiN纳米多层膜的超硬效应和多弧离子镀技术对纳米多; 层膜硬度的强化作用。结果表明,与单层TiN相比,本文制备的Ti/TiN纳米多层膜分层情况良好,薄膜均匀致密,没有明显的柱状晶结构,TiN以面心立; 方结构沿(111)方向择优生长。随着调制周期的减小薄膜的硬度呈现先增大后减小的趋势,并在调制周期为7.5 nm时具有最大的硬度42.9; GPa和H/E值。这表明,Ti/TiN在具有最大硬度的同时仍然具有良好的耐磨性和韧性。Ti/TiN纳米多层膜的附着力均比单层TiN薄膜的附着力高; ,调制周期为7.5 nm时多层膜的附着力为(580.9) N。
收录类别:EI;CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:qikan.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=67897466504849574850484857
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