标题:水育晶体生长微机集中控制系统
作者:孙连科,冉祥成,马世刚
作者机构:[孙连科,冉祥成,马世刚]山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所 济南,济南,济南 更多
来源:人工晶体
出版年:1988
期:Z1
页码:409
关键词:晶体生长;水育;恒温时间;
摘要: 根据水育晶体生长工艺及设备特性,单晶生长过程对温度控制的要求有三种状态:升、降和恒温。升降温应具备快速和按不同速率线性或非线性升降功能。本系统设计同时控制8个(或16个)育晶槽工作。各路分别有8个升降或恒温段。根据不同生长工艺,可依次设定各段(所用段数只要不大于8)升降速率或恒温时间及初、终
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=RGJT1988Z1411&DbName=CJFQ1988
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