标题:SnO_2(F)、Fe_2O_3和ZnSe(Fe)薄膜厚度的测量
作者:谭春雨;夏曰源;张汝贞;刘吉田;刘向东;许炳章;李淑英;陈有鹏;张淑芝;
作者机构:[谭春雨;夏曰源;张汝贞;刘吉田;刘向东;许炳章;李淑英;陈有鹏;张淑芝] 山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物 更多
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1993
期:02
页码:189-195
关键词:常压CVD;椭圆偏振法;卢瑟福背散射;薄膜厚度
摘要:用RBS技术、椭偏法和微量天平称重法测量了掺氟SnO_2(FTO)透明导电膜、掺铁ZnSe磁性半导体膜和Fe_2O_3气敏元件膜的薄膜厚度.实验结果表明,RBS技术的测量数值与椭偏法以及微量天平称重法测得的结果符合得较好。
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX199302009&DbName=CJFQ1993
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