标题:粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件 Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜
作者:田芳;郭晓丽;张颖欣;王倩;裘南畹;
作者机构:[田芳;郭晓丽;张颖欣;王倩;裘南畹]山东大学化学与化工学院;[田芳;郭晓丽;张颖欣;王倩;裘南畹]济南半导体实验所;[田芳;郭晓丽;张颖欣;王倩;裘南畹]山东大学物理学 更多
来源:山东大学学报(工学版)
出版年:2008
期:05
页码:99-101+106
关键词:粉末溅射;最佳膜厚;响应时间
摘要:利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDGY200805021&DbName=CJFQ2008
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