标题:脉冲激光沉积技术及其应用
作者:陈传忠;包全合;姚书山;雷廷权
作者机构:[陈传忠] 山东大学材料科学与工程学院, 济南, 山东 250061, 中国.;[包全合] 山东大学材料科学与工程学院, 济南, 山东 250061, 中国.;[姚书山] 山东大学材料科学与 更多
来源:激光技术
出版年:2003
卷:27
期:5
页码:443-446
关键词:脉冲激光沉积; 薄膜; 应用; 研究现状
摘要:薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用,为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。介绍了脉冲激光沉积技术 的原理、特点,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状,展望了该项技术的应用前景。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=JGJS200305019&DbName=CJFQ2003
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