标题:氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究
作者:宋淑梅;杨田林;辛艳青;姜丽莉;李延辉;庞志勇;林亮;韩圣浩
作者机构:[宋淑梅] 山东大学威海分校空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国.;[杨田林] 山东大学威海分校空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国.;[辛艳青] 山 更多
通讯作者:Yang, T.-L.
通讯作者地址:[Yang, T.-L] School of Space Science and Physics, Shandong University at Weihai, Weihai 264209, China
来源:功能材料
出版年:2010
卷:41
期:9
页码:1578-1580+1584
关键词:透明导电薄膜; 射频磁控溅射; 电阻率; 透过率
摘要:采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO(ZnO掺杂Y_2O_3简称YZO). 在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况. X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向. 最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71*10~(-4)Omega·cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV
收录类别:EI;CSCD;SCOPUS
Scopus被引频次:2
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-77958128368&partnerID=40&md5=8ba650cffc410928ae7767df95e6d808
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