标题:磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Al透明导电薄膜
作者:杨田林,许心光,张德恒,马瑾,马洪磊
作者机构:[杨田林,许心光,张德恒,马瑾,马洪磊]山东大学光电材料与器件研究所,山东大学晶体材料国家重点实验室,山东大学物理系 更多
来源:山东大学学报(自然科学版)
出版年:1998
期:03
页码:33-37
关键词:磁控溅射;柔性衬底;ZnO∶Al薄膜
摘要:用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性、低电阻率、高透射率ZnO∶Al的透明导电膜,研究了薄膜的结构、电学和光学特性.
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=SDDX803.005&DbName=CJFQ1998
TOP