标题:一种微位移纳米定位系统的机械特性分析与控制
作者:杜志元;刘鹏博;闫鹏;张震;
作者机构:[杜志元]山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室;[刘鹏博]北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院;[闫鹏]清华大学机械工程学院;[张震]清华大学 更多
会议名称:第26届中国控制与决策会议
来源:第26届中国控制与决策会议论文集
出版年:2014
关键词:纳米定位;压电陶瓷;迟滞非线性;H∞控制
摘要:本文设计了一种基于三角放大原理的一维纳米定位平台,整个平台运用压电陶瓷作为驱动器,构件之间采用柔性铰链连接,并在此基础上搭建了一种具有结构简单,定位精度高等优点的纳米定位系统。然后对平台进行了包括放大比和刚度等方面的机械特性分析,由此推导出了纳米平台的前三阶固有频率,并对所求得的理论结果进行了验证。进而运用有限元分析软件对上述参数进行了仿真实验,并与理论结果进行了对比。最后,针对压电陶瓷的迟滞非线性特性,采用经典Preisach模型进行了拟合分析和建模,进而根据H∞控制理论设计了鲁棒控制器,并将控制算法用于实时控制实验在纳米定位平台上予以验证。
资源类型:会议论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=KZJC201405001885&DbName=CPFD2014
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