标题:MOCVD法制备SnO_2单晶薄膜的结构和光学性质
作者:冯先进;马瑾;杨帆;栾彩娜;
作者机构:[冯先进]山东大学物理与微电子学院;[马瑾]山东大学物理与微电子学院;[杨帆]山东大学物理与微电子学院;[栾彩娜]山东大学物理与微电子学院 更多
会议名称:第六届中国功能材料及其应用学术会议
来源:第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)
出版年:2007
期:A0
关键词:MOCVD;SnO_2单晶薄膜;蓝宝石衬底
摘要:用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上制备出高质量的氧化锡(SnO_2) 单晶薄膜。对制备薄膜的结构和光学性质进行了研究。制备样品具有纯 SnO_2的四方金红石结构,其外延生长方向为 SnO_2(100)//Al_2O_3(0001)。薄膜均匀、致密,具有很好的取向性和结晶性。透射谱测量结果表明,在可见光区薄膜的绝对透过率达到了90%以上。
资源类型:会议论文;期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=GNCL200711001091&DbName=CPFD2008
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