标题:Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C(E_0)
作者:谭震宇;何延才
作者机构:[谭震宇] 山东大学电力工程学院, 济南, 山东 250061, 中国.;[何延才] 中科院上海硅酸盐所, 上海 200050, 中国
来源:山东工业大学学报
出版年:2000
卷:30
期:6
关键词:蒙特卡罗方法; 电子束/薄膜; 背散射
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
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