标题:N2流量对多弧离子镀ZrTiN涂层性能的影响
作者:陈振;邓建新;颜培;连云松
作者机构:[陈振] 山东大学机械工程学院, 济南, 山东 250061, 中国.;[邓建新] 山东大学机械工程学院, 济南, 山东 250061, 中国.;[颜培] 山东大学机械工程学院, 济南, 山东 更多
来源:制造技术与机床
出版年:2011
期:6
页码:122-124+159
关键词:ZrTiN涂层; 多弧离子镀; N2流量; 硬度; 结合力
摘要:采用离子束轰击辅助多弧离子镀法,在硬质合金YT15刀片上沉积ZrTiN涂层。研究了沉积过程中不同N2流量对ZrTiN涂层性能的影响,结果表明:当 N2流量为140 mL/min时,涂层表面熔滴、缺陷较少,表面平整,粗糙度值最小。在该N2流量下,由于真空室内各种粒子结合率较高,沉积速率适中,涂层生长致密,其硬 度和结合力的综合性能最佳,另外当N2流量为120 mL/min时,涂层沉积速率最快达到24.6 nm/min。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=ZJYC201106044&DbName=CJFQ2011
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