标题:新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能
作者:贾绍辉;张家震;张淮凌;杨田林
作者机构:[贾绍辉] 威海中玻镀膜玻璃股份有限公司, 威海, 山东 264200, 中国.;[张家震] 威海中玻镀膜玻璃股份有限公司, 威海, 山东 264200, 中国.;[张淮凌] 威海中玻镀膜玻 更多
通讯作者:Zhang, J(zjz2000@163.com)
通讯作者地址:[Zhang, J] Weihai CNG Coated Glass Holding Co., LtdChina;
来源:硅酸盐学报
出版年:2016
卷:44
期:4
页码:566-571
DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2016.04.16
关键词:阳光控制膜; 氮化硅; 磁控溅射; 玻璃基片
摘要:采用磁控溅射方法,以纯Si作为靶材,Ar和N_2为溅射气体在3 300 mm宽幅的玻璃基片上制备出大面积均匀的金黄色阳光控制膜。利用X射线衍射、X射线光电子能谱和椭偏仪对不同工艺参数下薄膜的结构、组成和光学参数进行了 表征。结果表明:金黄色阳光控制膜的主要成分为富硅氮化硅相;溅射功率和溅射气体通过影响薄膜中硅/氮化硅含量比而改变薄膜的外观颜色。优化工艺条件下制 备的金黄色阳光控制膜的色度指标为L~*=62.4,a~*=4.5,b~*=31.6,遮阳系数可达0.59,具有良好的装饰和节能效果。
收录类别:EI;CSCD;SCOPUS
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-84969983845&doi=10.14062%2fj.issn.0454-5648.2016.04.16&partnerID=40&md5=7bb3800d776cd33ddf555cb2eefaf38a
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