标题:掺钇非晶硅膜的红外吸收谱
作者:张淑芝;吴斐斐;程兴奎
作者机构:[张淑芝] 山东大学, 济南, 山东 中国,中国.;[吴斐斐] 山东大学, 济南, 山东 中国,中国.;[程兴奎] 山东大学, 济南, 山东 中国,中国 更多
来源:山东大学学报. 自然科学版
出版年:1992
卷:27
期:4
关键词:掺钇浓度; 吸收峰积分
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
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