标题:热屏位置影响直拉单晶硅熔体和固液界面的模拟
作者:关小军;张向宇;潘忠奔;王进;曾庆凯
作者机构:[关小军] 山东大学材料科学与工程学院, 晶体材料国家重点实验室, 济南, 山东 250061, 中国.;[张向宇] 山东大学材料科学与工程学院, 晶体材料国家重点实验室, 济南 更多
通讯作者地址:[Guan, X.-J] School of Materials Science and Engineering, Shandong UniversityChina
来源:人工晶体学报
出版年:2015
卷:44
期:2
页码:329-336
关键词:直拉单晶硅; 有限元; 热屏位置; 流场; 温场; 固液界面
摘要:为了研究热屏位置对于直拉单晶硅的熔体和固液界面的影响,采用CGSim有限元软件对200 mm直拉单晶硅生长过程进行了模拟,结果表明,随着热屏底端位置上升(或径向内移),熔体自由表面及其邻近区域的温度下降;随着热屏底端位置径向内移,位 于两个大涡胞之间的较小涡胞强度增大且移向熔体液面深处;热屏位置上升或径向外移均会使固液界面上凸程度增大,这主要归因于晶体热场的相应变化。
收录类别:EI;CSCD;SCOPUS
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-84928386806&partnerID=40&md5=73faba8e1c2086b0b79948b753a7657f
TOP