标题:射频磁控溅射有机衬底SnO_2:Sb透明导电膜性能的研究
作者:张士勇;马瑾;刘晓梅;马洪磊;郝晓涛
作者机构:[张士勇] 长安大学理学院, 西安, 陕西 710064, 中国.;[马瑾] 山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所, 济南, 山东 250100, 中国.;[马洪磊] 山东大学物理与 更多
来源:功能材料
出版年:2003
卷:34
期:4
关键词:有机衬底SnO_2:Sb透明导电膜; 光电性质
摘要:采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(pol- ypropylene adipate,PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO_2:Sb)透明导电膜。研究了薄膜的厚度效应对Sn0_2:Sb薄膜的结构、光学和电 学特性的影响。制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构。载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最 低电阻率为2*10~(-3)Omega·cm。
收录类别:CSCD
资源类型:期刊论文
原文链接:http://lib.cqvip.com/qk/92397A/200304/8233304.html
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