标题:射频磁控溅射有机衬底SnO_2∶Sb透明导电膜性能的研究
作者:张士勇,马瑾,刘晓梅,马洪磊,郝晓涛
作者机构:[张士勇,马瑾,刘晓梅,马洪磊,郝晓涛]长安大学理学院,山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所,山东大学计算机科学与技术学院,山东大学物理与微电子学院光电 更多
来源:功能材料
出版年:2003
期:04
页码:452-453+457
关键词:有机衬底;SnO2∶Sb透明导电膜;光电性质
摘要: 采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropyleneadipate,PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜。研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响。制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构。载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最低电阻率为2×10-3Ω·cm。
资源类型:期刊论文
原文链接:http://kns.cnki.net/kns/detail/detail.aspx?FileName=GNCL200304035&DbName=CJFQ2003
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