标题:MeV He~+离子注入氧化锌晶体光波导特性研究
作者:明宪兵;卢霏;刘汉平;王磊;侯东超;刘祥志;张瑞锋
作者机构:[明宪兵] 山东大学信息科学与工程学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[卢霏] 山东大学信息科学与工程学院, 济南, 山东 250100, 中国.;[刘汉平] 山东大学信息科学与工 更多
通讯作者:Ming, X(mxbing115@126.com)
通讯作者地址:[Ming, X] School of Information Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250100, China;
来源:中国激光
出版年:2009
卷:36
期:2
页码:453-457
DOI:10.3788/CJL20093602.0453
关键词:导波光学; 光波导; 折射率分布; 离子注入; 氧化锌
摘要:用能量为2.0 MeV剂量为2*10~(16) ion/cm~2 He~+离子室温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导.退火前后用棱镜耦合法在633 nm激光波长下测量波导的暗模特性,发现在空气中经过适当退火后暗模消失,说明晶格损伤减少,进一步的退火处理有可能使晶格损伤完全恢复.用TRIM ′2003程序模拟了2.0 MeV He~+离子注入到氧化锌晶体的过程,得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线,并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布, 发现在波导区折射率增加,在离子射程的末端有一个折射率降低的光学位垒,结果还显示折射率分布曲线与损伤分布曲线非常相似,这充分说明核碰撞所造成的晶格 损伤是形成光波导的主要原因.
收录类别:EI;CSCD;SCOPUS
资源类型:期刊论文
原文链接:https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-61749086376&doi=10.3788%2fCJL20093602.0453&partnerID=40&md5=51f34089ef5ceb092c4790a4a1177055
TOP