专利名称:基于双波长相移干涉测量光学非均匀性的方法
公开(公告)号:CN102252823A
公开(公告)日:2011-11-23
申请(专利权)人:山东大学
发明(设计)人:王玉荣;郑箫逸;李杰;王青圃
法律状态:有效专利
摘要:本发明公开了一种基于双波长相移干涉测量光学非均匀性的方法,是根据材料的色散特性,采用带有光波长不同的两个激光器或波长可调谐激光器的干涉仪,将待测样品在两种波长光波下的折射率非均匀性等同于待测样品所要测量的光学非均匀性;利用相移干涉术得到待测样品放入干涉仪之前在两种波长光波下获得的相移干涉图以及待测样品放入干涉仪之后在两种波长光波下获得的相移干涉图;采用相移干涉相位恢复算法得到在两种波长光波下待测样品放入干涉仪前后的物光波相位之差,再求得待测样品的光学非均匀性。本发明自动消除了系统误差,测量过程无需调节待测样品,对待测样品前后表面的面形、平行度及加工精度无特殊要求,是一种真正的绝对测量方法,测量精度高。
资源类型:专利
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