专利名称:一种在硅基上无金属催化剂制备石墨烯的方法
公开(公告)号:CN106868469A
公开(公告)日:2017-06-20
申请(专利权)人:山东大学
发明(设计)人:张琳;慈立杰;王旭天
法律状态:审中-实质审查
摘要:本发明公开了一种在硅基上无金属催化剂制备石墨烯的方法。本发明采用本发明采用射频磁控溅射技术和化学气相沉积的方法,用六方氮化硼靶作为磁控溅射靶材,用有300nm二氧化硅的<100>晶向的硅基作为溅射衬底,通过在硅基上直接沉积硼氮薄膜作为催化剂,其上生长石墨烯,省去了溅射沉积金属催化剂的步骤,从而达到优化工艺,节约资源,降低成本的效果。同时通过控制化学气相沉积过程中的参数,使得制备得到的石墨烯一致性良好,具有较好的热和化学稳定性。
资源类型:专利
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